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技術文章

玻璃基片的性質

   玻璃是一種透明的具有平滑表面的穩定性材料,可以在小于5000溫度下使用。玻璃的熱性質和化學性質隨其成分不同而有明顯變化。如透明石英玻璃,其雜質總含量小于l00ppm,在0. 18拜 m-45m一波長范圍內,其為透明狀態,在20'C~  1000C溫度范圍內,其熱膨脹系數很小,為5.4X10-7。
   表4一2列出了典型的玻璃基片的成分(wt%)。不同廠家生產的玻璃基片的精確組成有所不同。
   石英玻璃在化學耐久性、耐熱性和耐熱沖擊性方面都是*異的。普通玻璃板和顯微鏡鏡片玻璃為堿石灰系玻璃,容易熔化和成型,但其膨脹系數大??梢詫⑵胀úAО逯械腘at 0置換成Bz 03,以減小其膨脹系數。


   石英玻璃采用熔融石英法制成,以水晶為原料時得到的是透明石英玻璃,以石英砂和石英為原料時得到的是不透明石英玻璃。除透明性不同外,這兩種玻璃的物理性質和化學性質幾乎沒有什么不同.表4一3列出各種石英玻璃的純度。用四氯化硅做原料采用韋納伊(Verneuil)火焰熔融法制成的石英玻璃純度*。從表4一3看出,純度由礦物質含量決定。當氧化鐵含量高于l00ppm時,則明顯看到Fe' , Fe'+分別吸收0. 385m近紫外線和1. 15m近紅外線;當為板狀試樣時,試樣斷面呈綠色。在強氧化氣氛中熔化的玻璃原料,其Fee+減少,這時玻璃斷面呈淡褐色。無雜質玻璃為純白色。

   表4一4列出了透明石英玻璃的物理性質。其密度、泊松比和比熱容等均比普通玻璃板小。電阻率除受溫度影響外,還易受其含水量和雜質的影響。石英玻璃的常用溫度一般為11000,但玻璃含水量較多時,把使用溫度再降低50'C-100℃則可安全使用。各種玻璃高溫使用的臨界溫度大致為其鉆度等于1013.5 P時的翹曲變形溫度。

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