日本高清一区二区三区-日本高清一区二区三区不卡视频-日本高清一区二区三区中文字幕-日本高清一区二区在线-日本高清在-日本高清在线www3344

歡迎訪問揚(yáng)州欣達(dá)電子有限公司網(wǎng)站! 關(guān)于我們 聯(lián)系我們

專注于薄膜開關(guān),薄膜面板等研發(fā)與生產(chǎn)

安全省心,有效控制成本

img

咨詢電話:

0514-86859177

img

咨詢電話:

13805251384

PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
行業(yè)資訊
企業(yè)動(dòng)態(tài)
技術(shù)文章
咨詢熱線

0514-86859177

技術(shù)文章

濺射薄膜的生長

    用濺射法制備薄膜時(shí),到達(dá)基片的濺射粒子的能量比蒸發(fā)法的要大得多,因此會給薄膜的形成帶來一系列的影響,除了使膜與基片的附著力增加外,還會由于高能離子轟擊薄膜表面使其溫度上升而改變薄膜的結(jié)構(gòu),或使薄膜內(nèi)部應(yīng)力增加等。濺射粒子的能量與濺射電壓、基片與靶的距離、真空室氣體的壓強(qiáng)等密切相關(guān),因此薄膜的形態(tài)及結(jié)構(gòu)就與上述因素有關(guān)。圖5一11給出了工作氣體壓強(qiáng)和基片溫度與薄膜結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系。區(qū)域I為多孔柱狀區(qū),呈現(xiàn)葡萄狀結(jié)構(gòu);有較多的氣孔;區(qū)域II為致密纖維狀區(qū),比區(qū)域I致密,氣孔少;區(qū)域Ⅲ為完全致密的柱狀晶粒區(qū);區(qū)域Ⅳ為高溫導(dǎo)致柱狀晶變?yōu)榈容S晶粒區(qū)。濺射薄膜常常呈現(xiàn)柱狀結(jié)構(gòu),猶如許多直徑約為幾百埃的小柱體緊密地聚集在一起而形成的。這種柱狀結(jié)構(gòu)被認(rèn)為是由于原子或分子在基片上具有有限的遷移率所引起的。這種柱狀結(jié)構(gòu)由于在小柱體之間留下了很多類似毛細(xì)孔的空隙,將使薄膜的性能容易變化。

 

主站蜘蛛池模板: 国产播放隔着超薄丝袜进入 | 一区二区三区欧 | 国产91精品一区在线观看 | 91免费看国产色色婷婷97 | 午夜麻豆福利视频 | 国产av大陆精品一区二区三区 | 99久久精品免费看国产漫画 | 91久国产成人在线 | 99久久久久精品国产免费 | 69精品国产久热在线观看 | 91蜜桃传媒精品 | 91色中色成人视频 | 91久久久久久久国产 | 丰满少妇弄高潮 | 99成人精品成人一区二区 | 成色伊人 | 国产白丝无码免费视频 | 动漫精品一区二区三区四区 | 贵州美女一级纯黄大片 | 97精品在线观看 | v亚洲v天堂无码久久久91 | 福利一区二区在线 | 99自拍视频在线观看 | 岛国大片免费观看 | 操美女视频免费网站 | 91果冻制片厂广电传媒 | 午夜福利三级理论电影悬疑片 | 海角精产国品一二三 | 白丝袜国产播放在线 | 91网站免费 | 97精品人妻一区二区三 | 91久久综合精品国产丝袜长腿 | 97人妻视频免费 | 91av视频导航| 国产av一区二 | 99久久久无码国产精品性 | 99久久国产热精品 | 国产av无码 | 91人妻精品无码ww九色 | 97人妻久久人人 | 丰满人妻熟妇乱又伦精品软件 |