日本高清一区二区三区-日本高清一区二区三区不卡视频-日本高清一区二区三区中文字幕-日本高清一区二区在线-日本高清在-日本高清在线www3344

歡迎訪問揚州欣達電子有限公司網站! 關于我們 聯系我們

專注于薄膜開關,薄膜面板等研發與生產

安全省心,有效控制成本

img

咨詢電話:

0514-86859177

img

咨詢電話:

13805251384

您的位置:首頁 > 新聞資訊 > 技術文章
PRODUCT CENTER
產品中心
行業資訊
企業動態
技術文章
咨詢熱線

0514-86859177

技術文章

薄膜內應力起因

    一般認為薄膜內應力是由熱效應、相變、界面應力、雜質效應等因素綜合作用的結果。
    一、熱效應
    熱效應是內應力的主要來源。因此在選擇基片時應盡量選擇其熱膨脹系數與薄膜相接近的材料,或者選擇可使薄膜處于壓應力狀態的基片材料。基片溫度對薄膜的內應力影響很大,它直接影響吸附原子在基片表面的遷移能力,從而影響薄膜的結構、晶粒的大小、缺陷的數最和分布,而這些都與內應力大小有關。
    二、相變
    薄膜的形成過程實際上也是一個相變過程,即由氣相變為液相再變為固相,這種相變帶來體積上的變化,從而產生內應力。在薄膜形成過程中,首先是在基片上凝聚成短程有序的類液體固相,這時薄膜并沒有本征應力;當類液體固相向穩定的晶相轉變以后,由于兩相密度不同,就產生了本征應力。例如Ga由液相變為固相時體積將發生膨脹,因而薄膜內將產生內應力;Sb在常溫下形成的薄膜一般是非晶態,當膜厚超過某一臨界值時將發生晶化,晶化時體積收縮,薄膜內就產生張應力。
    三、界面應力
    當薄膜材料的晶格結構與基片材料的晶格結構不同時,薄膜最初幾層的結構將受到基片的影響,形成接近或類似基片的晶格尺寸,然后逐漸過渡到薄膜材料本身的晶格尺寸。在過渡層中的結構畸變,將使薄膜產生內應力。這種由于界面上晶格的失配而產生的內應力稱為界面應力。為了減少界面應力,基片表面晶格結構應盡量與薄膜相匹配。
    四、雜質效應
    在淀積薄膜時,環境氣氛對內應力影響很大。真空室內的殘余氣體或其它雜質進人薄膜結構中將產生壓應力。制備好的薄膜置于大氣中,會受到環境氣氛的影響,例如銅膜的表面遇到空氣會在表面生成一層很薄的氧化層,它也會使薄膜增加壓應力。進人薄膜中的殘余氣體還可能再跑出來,在薄膜中留下空位或微孔,從而出現張應力。由于晶界擴散使雜質進人薄膜中也會產生壓應力。
    除了以上幾種原因以外,在薄膜生長過程中由于小島的合并、晶粒的合并、缺陷、微孔的擴散等,會引起表面張力的變化,也會引起薄膜內應力的變化。
主站蜘蛛池模板: 91在线亚洲精品专区 | 高潮喷水的网站 | 午夜成人鲁丝片午夜精老熟女 | av午夜精品一区 | 91无码欧精品亚洲日韩一区 | 国产超级va在线观看视频 | 波多野结衣高清在线 | 成人动漫中文字幕 | 午夜免费观看视频 | 99中文字幕在线 | 91精品国产闺蜜国产在线闺蜜 | 97亚洲狠狠色综合蜜桃 | 国产av日韩a∨亚洲av电影 | 动漫精品一区二区三区在线 | av无码中文一区二区三区 | 一区二区三区国 | av毛片| 91久久人妻中文字幕色欲 | caoporn视频在线 | 91麻豆国产精品 | 一区二区三区 | aⅴ免费在线观看 | 午夜美女激情福 | 91精品一区是什么 | 成人深夜www视频免费软件 | 一区二区三区国产视频 | 按摩中出的人妻中文字幕 | 91国精产品自偷自偷综合 | av在线观看网站 | 国产91亚洲福利精品一区二区 | 国产91九色刺激露脸对白 | 97精品国偷拍自产在线 | av无码一区在线观看 | 91九色熟女 | 第一福利在线观看 | hd人妖视频一区二区 | 97久久超碰成人精品网页 | 丰满少妇呻吟高潮经历 | 91嫩草国产线免费观看91 | 午夜福利理论片视频 | 日韩av在线不卡免费观看 |