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技術文章

什么是真空蒸發鍍膜

   真空蒸發鍍膜(簡稱真空蒸鍍)是在真空室中,加熱蒸發容器中欲形成薄膜的原材料,使其原子或分子從表面氣化逸出,形成燕氣流,人射到固體(一般為襯底或基片)表面,凝結形成固態薄膜的方法。真空蒸鍍法的主要物理過程是通過加熱使蒸發材料變成氣態,故該法又稱為熱蒸發法。這是1857年首先由Farady采用的最簡單的制膜方法,現在已獲得廣泛應用。近年來,該方法的改進主要集中在蒸發源上。為了抑制或避免薄膜原材料與蒸發加熱皿發生化學反應.改用耐熱陶瓷柑禍,如氮化硼(BN)增禍;為了蒸發低燕氣壓物質.采用電子束加熱源或激光加熱源;為‘了制備成分復雜或多層復合薄膜,發展了多源共蒸發或順序蒸發法;為了制備化合物薄膜或抑制薄膜成分對原材料的偏離,出現了反應蒸發方法等。

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